検査装置

LDチップ外観検査装置

本装置は端面発光（EEL：Edge emitting　laser）レーザーダイオードベアチップをGrip ring　またはgel　packに張り付けた状態で、上面、斜め側面よりチップの表面の画像を捉え外観検査を行う装置です。

外観検査対象面は上面、発光端面前方、発光端面後方の3面です。

NG判定品はピックアップしてNG BOXに廃棄します。

端面発光（EEL：Edge emitting　laser）レーザーダイオードベアチップ

測定前に高速でwafer　mappingを行います。

・6“グリップリングｘ1

・2“ゲルパックｘ4

・上面

・発光端面前面

・発光端面後面

・割れ、かけ、傷

・汚れ、腐食、コーティング不良

※詳細内容は各項目の限度見本を準備の上取り決めます。