本装置はVCSELレーザーダイオードのWAFER状態で常温(20℃)～高温(95℃)環境下での電気特性、光学特性を自動に測定するＬＤテストウエハープローバです。測定前にマッピングを行い、そのマップに従って1個ずつ順にI-L、λ計測を行います。I-L、λ計測終了後、FFP測定、NFP測定を順次行います。マルチビームVCSELに対応したオートプローバです。