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検査装置
LD芯片外觀檢查裝置
AOI1000A
概 要
該設備是通過將端面發射激光(EEL)的激光二極管裸芯片裝到Grip環或凝膠盒,從頂部和對角線上捕獲芯片表面圖像來執行圖像檢查的設備。
目視檢查三個表面:上表面,發光端面的前部和發光端面的後部。
NG判斷產品被拾取並丟棄在NG BOX中。
測定対象
端面發射激光(EEL)激光二極管Bare Chip
Wafer Mapping機能
在測量之前,高速執行Wafer Mapping。
供給方式
・6“供給環x1
・2“凝膠盒x4
検査対象面
・上面
・発光端面前面
・発光端面後面
検査項目
・裂縫,划痕,划痕
・污垢,腐蝕,塗層不良
*詳細信息將在為每個項目準備樣品規格後確定。
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